半导体设备大厂应用材料(Applied Materials)10日在新加坡淡滨尼(Tampines)举行制造与创新园区开幕典礼,宣布园区正式投产。该园区耗资约158亿元,将扩大应材在新加坡的制造量能,并导入机器人、扩增实境(AR)、数位工具与视觉检测平台,打造半导体设备智慧制造基地。
从现场无尘室导览来看,淡滨尼园区的智慧制造流程涵盖物料配送、设备组装、测试与出货前检查四大环节。首先,在物料配送方面,园区导入自主移动机器人(AMR),可将零件或栈板从物流区送至工作站,并采取拉动式配送系统(pull-based delivery system),也就是现场有需求才配送,借此减少人工搬运与物料等待,也让无尘室空间更多用于设备组装,而非物料堆放。
在设备组装环节,技术员可透过扩增实境眼镜(AR lens)取得即时作业指引,画面会直接提示气体管线安装位置、螺丝锁固位置等步骤,减少技术员在电脑工作指令与实际设备间来回切换。现场也导入数位扭力工具(digital torque tool),确保螺丝锁固至正确扭力,并将相关数据自动记录至系统,让品质控管从制造过程中即时建立,而非只在最后检查。
在测试流程方面,应材导入协作型机器人手臂(collaborative robot arm)进行腔体(chamber)泄漏检测。机器人可沿著腔体接缝释放气体,再由泄漏检测器(leak checker)侦测是否有泄漏。相较过去由技术员手动检测,机器人可让气体释放速度、检测路径与作业流程更加一致,降低人为差异,提升测试稳定度与可重复性。
最后在出货前视觉检查阶段,应材导入Vision X平台,搭配扩增导引检查(augmented guidance for inspection),协助技术员检查水管连接是否正确、设备标签位置与语言是否符合规范。系统可透过影像判读,以绿色标示正确、红色提示异常,让不同设备采用更标准化的检查方式。
应用材料总裁暨执行长Gary Dickerson也表示,随著AI需求快速成长,应材已提前投资让营运产能约倍增,目的就是不希望在客户扩产时成为限制因素。他指出,新加坡与美国德州奥斯汀(Austin, Texas)是应材两大主要制造中心,客户如今提供8季滚动预测(eight-quarter rolling forecast),这对应材与供应链规划相当重要;只要具备足够能见度,应材有信心支援客户未来扩产需求。