据大众日报报导,滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾表示,「从5N到6N,不是多提纯一次,是一整套全新纯化体系的建立。」。他口中的「6N」,是晶片产业的纯度密码-99.9999%。六个9,意味著每100万个分子里,杂质不能超过1个。报导称,大陆已能自己生产28奈米到14奈米晶片刻刀。
报导称,这不是实验室里的炫技,这是28奈米及以下先进制程的生死线。没有这个纯度,制造业的手机晶片、AI算力卡、自动驾驶晶片,都大受影响。
文中解析,高纯度氟化氢是晶片晶圆制造里的「精密刻刀」,1粒直径不足头发丝万分之1大小的金属尘埃,就足以让整片晶圆报废。电子级氢氟酸,正是晶片制造中看不见的「纯净屏障」。蚀刻矽片、清洗晶圆表面,它的纯度及稳定性,直接关乎晶片的良率与性能。
6N级高纯度氟化氢是适配28奈米以下先进制程的必需品,但这么关键的材料,中国长期靠进口。西方垄断6N级高纯度氟化氢全球约80%的市占率。目前市价已在200万元/吨以上。这不是商业问题,这是产业链的关键一环被人拿捏。
报导称,7月19日北鲲计划—滨化集团电子级高纯度氟化氢气体投产暨新产品发表会举行,6N等级(99.9999%)半导体以高纯氟化氢打破垄断,为大陆先进制程提供稳定、安全的大陆国产化保障,筑牢中国半导体产业供应链「安全屏障」。
很多人以为,纯度提升就是「多过滤几次」,但刘腾表示「没那么简单」,他称,氟化氢里的杂质,水、二氧化碳、含氧有机物有共同特征──互溶,它们和氟化氢混在一起,像奶茶里的珍珠和椰果,你很难把它们分开。
滨化集团的解法,是在精馏段设计多重精馏耦合系统,透过优化塔内件和操作窗口,在特定压力梯度下实现碳氧杂质的深度脱除。相当于造了一套「分子级的分拣机」,能在极端条件下,把混在一起的杂质一个个挑出来。
但这还不够,分析检测是另一个战场,纯度做得再高,检测不准等于白做。滨化自主开发了密闭精准取样系统和高灵敏分析方案,把取样过程中的环境本底干扰压到最低,确保分析数据真实反映产品品质。
突破,不只是气体,还有液体。同一天,滨化还有另一张牌亮了出来。超高纯电子级氢氟酸—这是湿式制程的核心材料,和高纯氟化氢气体是「兄弟连」,这个计划是山东省重点研发计划(重大科技创新工程),滨化联合天津大学共同完成。
中国化工学会的专家小组给予结论:关键技术及产品指标达到国际先进水准。几个硬核心指标:产品指标优于SEMI-G5级(国际半导体设备材料产业协会的最高标准之一);已顺利导入14奈米先进制程半导体终端客户;首创电子级氟化氢反应—精馏耦合提纯新制程;开发了全自动浸没式旋转气泡清洗装置。
从气体到液体,从干法到湿法,滨化在氟化氢这条赛道,把产业链的关键节点串起来了。目前,滨化集团已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充填线的建设与调试,拿到了山东省市场监督管理局颁发的气瓶充填许可证,已经开始向国内外重点客户推广产品。
