南韩消息传出,清洗先进晶圆所需的高纯度二氧化碳(CO2)供给吃紧。目前尚未影响三星电子和SK海力士生产,但两家公司加价抢购,仍难以取得。业界估计,短缺情况可能持续到年底。
韩媒The Elec报导,知情人士透露,供给短缺尚未冲击三星和SK海力士生产,但库存缓冲持续减少,促使两家公司加紧采购。但纵使提高价码,要取得额外供给仍日益困难。气体供应商高层表示:「原料完全不够,我们无法供给客户所需数量。短期内没有实际方式能提高产量」。
高纯度CO2用于半导体清洗,液态CO2进入超临界(supercritical)状态时,会兼具液体和气体特质,液态般的浓度能有效溶解晶圆残留物与污染物,而气态特质能深入线路细部,去除晶片结构深处的微粒。先进半导体的线路间距极窄、深宽比高,需要超临界清洗。
未纯化CO2是炼油、石化、氢能生产的副产品。业界人士指出,伊朗冲突下,原油供给不稳,导致南韩石化厂产能利用率下滑,让CO2短缺恶化。液态CO2价格自年初以来,估计已经上涨两成,业界预料供给吃紧将持续到今年底。